噴金儀用著用著，突然發(fā)現(xiàn)樣品表面出現(xiàn)了不該有的顆粒、鍍層不均勻，或者真空度拉不上去——十有八九是樣品倉體內(nèi)部污染了。這時(shí)候如果按部就班地走全套維護(hù)流程，半天時(shí)間就搭進(jìn)去了。其實(shí)只要掌握正確的操作順序，5分鐘內(nèi)就能完成一次有效的緊急清潔，讓儀器先恢復(fù)可用狀態(tài)。
先判斷是不是真的污染了
動(dòng)手之前花30秒確認(rèn)一下。觀察最近幾批樣品的鍍層質(zhì)量是否突然下降，看看倉體內(nèi)壁有沒有明顯的黑色或灰白色附著物，再留意真空泵抽速是否比平時(shí)慢了一截。如果這三點(diǎn)中了兩樣，基本可以確定是污染，直接開工。如果只是單次樣品異常，先排查樣品本身，別白忙活。
第一步：斷電放氣，打開倉門
關(guān)掉濺射電源，切斷高壓。等待10秒讓殘余電荷釋放，然后緩慢旋開放氣閥。注意一定要慢，讓空氣逐漸進(jìn)入，避免氣流裹挾灰塵倒灌進(jìn)艙內(nèi)。聽到氣壓平衡的聲音消失后，打開倉門。
這一步很多人容易急，但放氣太快真的會(huì)二次污染，前面白洗。
第二步：干擦去除松散污染物
戴上潔凈手套，拿一塊無塵布，不需要蘸任何溶劑，先把倉體內(nèi)壁、樣品臺支架、倉門內(nèi)側(cè)這些大面積區(qū)域輕輕擦拭一遍。目的是把那些沒有牢固附著的粉末、碎屑先清掉。
擦拭方向建議從上往下、從里往外，別畫圈蹭，那樣只是把臟東西換個(gè)位置。遇到角落縫隙里的浮灰，可以用洗耳球吹一下，比用布硬捅安全得多。
第三步：酒精擦拭關(guān)鍵區(qū)域
換一塊新的無塵布，蘸取少量無水乙醇(純度99%以上)，擰到半干狀態(tài)——關(guān)鍵是不能有液滴垂下來。重點(diǎn)擦這幾個(gè)地方：
樣品臺表面和邊緣凹槽
電極支架及附近內(nèi)壁
倉門密封圈接觸區(qū)域的外緣
觀察窗玻璃內(nèi)側(cè)
擦的時(shí)候力度適中，乙醇揮發(fā)快，不用等太久。但要注意，密封圈本體千萬別碰酒精，會(huì)加速老化。如果不小心蹭到了，立刻用干布擦干。
第四步：靶材周邊輕處理
靶材表面如果有明顯剝落或堆積物，不要用布去擦，容易劃傷靶面影響后續(xù)鍍膜均勻性。正確做法是拿洗耳球從側(cè)面輕輕吹一下，把松動(dòng)的濺射產(chǎn)物吹離即可。如果靶材邊緣有較厚的沉積物，記下來，等這輪緊急處理后安排一次正式維護(hù)再處理，現(xiàn)在別動(dòng)它。
第五步：檢查密封圈，合倉抽真空
倉門密封圈是很多人忽略的地方。用手沿著密封圈走一圈，感受有沒有變硬、開裂或者明顯的壓痕變形。如果表面沾了樣品碎屑，用干無塵布輕輕拂去就行。
確認(rèn)倉內(nèi)沒有遺留無塵布碎片、螺絲等異物后，關(guān)閉倉門。先不急著開濺射，讓真空泵單獨(dú)跑兩分鐘，觀察真空度是否能回到正常基線。如果能，說明污染已經(jīng)清理到位；如果還是不行，那可能是真空系統(tǒng)本身的問題，不是這次緊急清潔能解決的了。
幾個(gè)容易踩的坑
別用丙酮替代酒精。丙酮雖然去污力強(qiáng)，但揮發(fā)慢且對某些橡膠件有溶脹作用，緊急情況下風(fēng)險(xiǎn)大于收益。
別用棉簽代替無塵布擦大面積區(qū)域。棉簽頭容易掉絮，留在倉里反而變成新的污染源。
別在濕度高的環(huán)境操作。梅雨季或者實(shí)驗(yàn)室剛拖完地的時(shí)候，空氣中水分含量高，開倉時(shí)間長一點(diǎn)都可能導(dǎo)致倉壁結(jié)露，那時(shí)候就不是清潔而是制造麻煩了。
做完之后記得記錄
花一分鐘在儀器使用記錄本上寫兩筆：什么時(shí)候處理的、主要擦了哪些部位、處理后樣品的效果如何。攢幾次之后你就能摸清自己這臺儀器的污染周期，提前安排預(yù)防，而不是每次都等到出問題再救火。
這套流程熟練之后，從發(fā)現(xiàn)問題到重新能用，確實(shí)能控制在5分鐘以內(nèi)。當(dāng)然，緊急清潔只是治標(biāo)，如果一周內(nèi)連續(xù)出現(xiàn)兩次污染，那就得認(rèn)真查查是不是樣品預(yù)處理不到位、真空系統(tǒng)漏氣，或者該換靶材了。那時(shí)候就不是5分鐘能解決的事了，但至少眼下這關(guān)，你已經(jīng)穩(wěn)穩(wěn)過去了。
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